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工業純水設備
工業純水機產品介紹
· 半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各 種電子器件、微電子工業、大
規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質
的要求也越高；
· 目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、
工業純水機制造超純水工藝
1.離子交換樹脂制備超純水流程:
原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2.反滲透水處理設備與離子交換設備制備超純水流程:
原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3.反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制備超純水流程
原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
注：這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝
